微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则 GBT 26112-2010.pdf

GB/T26112-2010微机电系统(MEMS)技术微机械量评定总则1范围本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语3术语和定义GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1微机械量micro-mechanical parameters泛指一切与微机械性质和状态相关的物理量，包括几何量、流量、温度、声学、力学和运动等物理量：由于几何量、流量、温度、声学等物理量进行了专门的分类，因此微机械量是指位移、速度、加速度、振动等运动特性参量，以及与运动特性相关的力学参量。3.2微位移Microscale displacement描述质点在微米级尺度下位置变化的物理量，其大小等于起点至终点的直线距离，方向由起点指向终点。注1：微结构在受到一定激励的条件下会产生位置的变化，典型的位置变化有两种形式，平移和转动，分别对应线位移和角位移注2：如果将微结构基底作为一个参考平面，与这个参考平面面平行的位移为面内位移，否则称为离面位移，3.3振动vibration物体的往复运动。按照往复运动的方向可分为线振动和角振动。评定微结构的振动特性主要包括：振动幅度、谐振须率，振动摸态、品质因子。3.4残余应力residual stress在微加工处理完成后，在没有外力的作用下，在微机械结构内部保特平衡而存留的应力，称为残余应力，是内应力、外应力和热应力的综合作用。3.5应力梯度stress gradient微机械结构残余应力在厚度方向的非均匀分布，悬空式微机械结构在下部西性层释放后会由于残