微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 GBT 38341-2019.pdf
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微机电系统MEMS技术
MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
GBT
38341-2019
微机
系统
MEMS
技术
器件
可靠性
综合
环境
试验
方法
38341
2019
GB/T38341-2019前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准起草单位：东南大学、华为技术有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、中机生产力促进中心、浙江博亚精密机被有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、无锡华润上华科技有限公司、北京大学、中北大学、中国利科学院电子学研究所、北京必创科技股份有限公司。本标准主要起草人：王磊、黄创君、于振毅、陆学贵、朱悦、夏长奉、黄庆安、龙克文、石云波、李海斌、肖昆辉、郑风杰、张威、程逸轩、马书博、陈得民。
