蓝宝石衬底片弯曲度测试方法 GBT 31353-2014.pdf

GB/T31353-2014蓝宝石衬底片弯曲度测试方法1范围本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）弯曲度的测试方法。本标准适用于直径50.8mm304.8mm,厚度为不小于200m的蓝宝石利底片弯曲度的测试。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T6619硅片弯山度测试方法GB/T14264半导体材料术语3术语和定义GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1弯曲度bow自由无夹持品片中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离。3.2中位面基准平面nedian surface reference plane由指定的小于品片标称直径的直径圆周上的3个等距离点决定的平面。4方法提要4.1接触式测试将蓝宝石衬底片放置在基准环的3个支点上，3支点形成一个基准平面，利用低压力位移指示器测试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离，翻转衬底片，重复测试。两次测试值之差的一半表示衬底片的弯曲度。4.2非接触式测试将蓝宝石村底片放置在基准环的3个支点上，3个支点形成一个基准平面，利用非接触式位移传感器测试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离，翻转衬底片，重复测试。两次测试值之差的一半表示衬底片的弯曲度。4.3白光干涉式测试激光照射蓝宝石衬底片表面，光经过反射相互叠加干涉，干涉图经光学成像系统记录，开始高低形貌测试；物镜在Z轴方向上不断微小的移动，在每个移动位置上，光学成像系统进行拍照收集图片，形GB/T31353-2014成整个三维形貌数据。经信号处理系统后得到衬底片的弯曲度。5干扰因素5.1接触式和非接触式测试5.1.1参考平面的变化，可能导致在不正确的位置计算极值，扫描过程中参考平面的任何变化都会使显示的测试结果产生误差。5.1.2测试值与不平行度有关，参考平面与基准面的不平行度会产生误差。5.1.3基准环和蓝宝石衬底片之间的外来颗粒、沾污会产生误差。5.1.4测试样品相对于探头测试轴的振动会产生误差。5.1.5在扫描过程中，探头离开测试样品会给出错误的读数。5.1.6接触式和非接触式测试方法中，弯曲度由规定的路径进行扫描，采样不是整个表面，不同的扫描路径可产生不同的测试结果。5.17如果中位面的弯曲不是处处朝着相同的方向，用弯曲度不能完全表示中位面的形变，接触式和非接触式测试方法测定的数值也可能不代表中位面同参考平面的偏差。5.1.8采集数据的频率不同，可产生不同的测试结果。5.1.9设备硬件的不同或测试参数的不同设置可能会影响到测试结果。5.2白光干涉式测试5.2.1蓝宝石衬底片表面的沾污会影响反射光强的大小，从而影响弯曲度测试的淮确性。5.22入射光源的强度会影响成像的清晰度，从而影响弯曲度测试的准确性。5.2.3成像系统的分讲率大小直接影响弯曲度测试的准确性。5.2.4测试过程中，蓝宝石衬底片的振动或者挪移会形响成像的清晰度，从而影响弯曲度测试。5.2.5使用不同算法进行数据处理可能会影响弯曲度测试结果。6仪器和设备6.1接触式测试仪6.1.1接触式测试仪由基准环、带有数字显示的位移指示器、读数仪表及带有定位标识的测试平台组成。6.12基准环：由基座、3个支撑球、3个定位柱组成的专用器具。6.13位移指示器：指示器指针应处于基准环中心，移动方向垂直于基准平面，偏差小于1”。指针头部呈半球状，球体半径在1.0mm一2.0mm之间。指针头部对被测蓝宝石衬底片的压力应不大于0.3N。位移指示器分辨率为1m。6.1.4读数仪表：读取位移数值的电动仪表，显示有效数字3位以上，单位为微米(m)。6.1.5测试平台：一块结构细密，表面光滑的石板，测试区表面的平整度应小于0.25m,并装有限制基准环移动的限位器，保证下探头的固定。6.2非接触式测试仪6.2.1非接触式测试仪由基准环、带有数字显示的位移传感器、带有定位标识的测试平台和厚度校准片组成。6.2.2基准环是由基座、3个支撑球，3个定位柱组成的专用器具，2