蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 GBT 30857-2014.pdf
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蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
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30857-2014
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30857
2014
GB/T30857-2014蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法1范围本标准规定了制备氨化家薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单品切割片、研磨片、抛光片（简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T14264半导体材料术语3术语和定义GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.15点厚度变化5 points thickness variationTV5村底片上特定5个点的厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值称为衬底片的5点厚度变化。4方法概述4.1分立点式测量在衬底片中心点和距边2mm圆周上的4个对称位置点（见图1）测量衬底片厚度。中心点厚度作为衬底片的标称厚度。5个厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值即为衬底片的5点厚度变化。说明：1.4.5一距圆边2mm:2一中心点，3一距平边2mm,图1分立点位置1
