纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法 GBT 42106-2022.pdf
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纳米技术
三维纳米结构与器件的加工方法
离子束辐照诱导应变法
GBT
42106-2022
三维
纳米
结构
器件
加工
方法
离子束
辐照
诱导
变法
42106
2022
GB/T42106-2022引言离子束辐照可诱导直立纳米线或平面纳米薄膜产生应变，从而使纳米线或纳米薄膜在三维空间产生弯曲或折叠，为构建高性能的三维纳米电子器件、光电和光学元器件等提供了新的加工手段。本文件提供一种利用离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法规范。本文件的发布机构提请注意，声明符合本文件时，可能涉及7.2和73与直立纳米线或平面纳米薄膜构建三维纳米结构的加工方法相关的专利的使用。本文件的发布机构对于专利的真实性、有效性和范围无任何立场。该专利持有人已向本文件的发布机构承诺，他愿意同任何申请人在合理且无歧视的条款和条件下，就专利授权许可进行谈判。该专利持有人的声明已在本文件的发布机构备案。相关信息可通过以下方式获得：专利特有人姓名：中国科学院物理研究所地址：北京市海淀区中关村南三街8号请注意除上述专利外，本文件的某些内容仍可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
