硼酸盐非线性光学单晶元件质量测试方法 GBT 22453-2008.pdf

GB/T22453-2008台，带标尺的50倍显微镜。5.1.4测试步骤5.1.4.1将单品元件放置于激光器检测光路中，使元件通光面与激光光束垂直。5.1.4.2通过调整三维调整台，使激光光束相对于元件通光面作两维扫描，相邻扫描点的间隔为2mm。5.1.4.3扫描过程中用带标尺的显微镜观察，如发现有散射点，记录其个数、位置及大小。5.2光学不均匀性5.2.1测试原理测试光通过单晶元件后，被后标准镜反射，它与前标准镜反射的激光发生干涉，通过计算干涉条纹的变化量，得出单品元件的光学不均匀性。5.2.2测试仪器采用斐索干涉仪结构的高精度光学均匀性测量仪（准确度为110-7）。5.2.3测试步骤5.2.3.1打开测量仪5.2.3.2将样品按图1放入测试光路中，调节旋钮至条纹出现2条3条，测试样品的透过波前。间透镜参黑们测试样品图1测试光路图5.2.3.3按图2方式测试样品的S面平面度，图2S,面平面度测试方法5.2.3.4按图3测试样品的S,面平面度。图3S2面平面度测试方法5.2.3.5按图4测试空腔的波前，参黑简图4空腔波前的测试方法5.2.3.6通过以下计算公式进行计算，即得到样品的折射苹变化值：2