离子束蚀刻机通用技术条件 GBT 15861-1995.pdf

GB/T15861-19955.4.4有效束径蚀刻机的有效束径应在具体产品标准中规定，有效束径应在60、80、100三种规格中任选一种。其误差不大于土2%。5.45束流稳定性在产品标准中应给出束流稳定性指标，其指标值：a.在1h内应不大于土1%：b.在4h内应不大于土2%。5.4.6真空度a.蚀刻机工作室的极限压力应不大于6.710-4Pa:b.蚀刻机工作室的工作压力应不小于410-Pa。5.4.7恢复真空时间蚀刻机工作室暴露大气不超过20min,从大气抽到410-2Pa时，所需时应不大于20min.5.4.8蚀刻台蚀刻台的角度应可在090范围内连续可调，转动为每分钟6转10转。5.4.9工件温升蚀刻机加工工件时，工件表面的温升应不大于70。5.4.10蚀刻均匀性对膜厚均匀性为士5%的蚀刻样片进行蚀刻，其蚀刻均匀性应不大于士5%。5.4.11离子束中和方式蚀刻机的离子束采用热灯丝中和器。5.5可靠性要求产品平均无放障工作时间应不少于70h,平均维修时间应不多于3h。5.6成套性要求供货方供给离子束蚀刻机时，应包括主机、附件、易损件和随机技术文件及合同规定的其它要求。附件、易损件和随机技术文件的种类、规格和数量应在具体产品标准及产品说明书中明确规定和说明。5.7包装运输要求离子束蚀刻机部件的包装箱，在运输过程中不得损坏和变形，应能保证设备完好。6试验方法试验用的计量器具均在计量检定有效期内。6.1外观检测目测外观外形和油漆、电镀、化学涂覆质量。6.2安全检查6.2.1分别将屏栅电源，阳极电源，加速栅电源输出端入为瞬间为短路，观察过载保护装置是否动作。6.2.2采用1.5级，2500V兆欧表，测量离子源接线端子对地绝缘电阻。62.3检查机械泵、扩散泵操作顺序的联锁装置。检查冷却水与扩散泵和设备其它冷却部件的联锁和报警装置。6.3主要性能检测6.3.1束能量检测将屏栅电源正瑞与阳极电源负端相连，使用精度千分之一的数字电压表，分别测出屏册电源，阳极电源输出电压，用下式计算。