磷化铟单晶 GBT 20230-2006.pdf

GB/T20230-2006表1磷化铟单晶的导电类型、掺杂剂、电学参数我流子浓度/迁移率/电阻率/导电类型拾杂剂cm-acm2/(Vs)(cm)05107500一n型Sn5101000半绝缘型Fe1000510p型Zn510503.2.3磷化铟单品锭的品向为100、111)。其他品向由供需双方协商确定。3.2.4磷化钢单晶锭应无孪晶线、无夹杂、无裂纹微孔。3.2.5碑化钢单品锭的直径为50.8mm,76.2mm,100mm。其他尺寸由供需双方协商确定。3.3磷化铟单晶片特性3.3.1磷化铟单晶片的位错密度应符合表2的规定。3.3.2磷化铟单品片的几何参数应符合表3的规定。3.3.3磷化铟单晶片的表面应无裂纹、无李晶线、无桔皮、无白雾、无微孔等。3.3.4酵化钢单品片的电学参数应符合表1的规定。3.3.5磷化钢单品片的品向由供需双方协商确定。表2磷化铟单晶位错密度摻杂剂今SnFeZn直径/mm50.876.210050.850.876.210050.8位错密度/cm1105X1011035X101X105103110110表3磷化铟单晶片的几何参数项目指标直径/mm50.876.2100直径偏差/mm0.5土0.50.5厚度/m450625650厚度偏差/m25土2525主参考面/mm16222土232.52次参考面/mm82112182平整度/m202530翘曲度/um152025总厚度变化/m2025304试验方法4.1磷化铟单品导电类型测试方法按GB/T1550的规定进行。4.2碑化铟单品电学参数测试方法按GB/T4326、S/T3244.1和SJ/T3249.1的规定进行。4.3磷化铟单品品向测量方法按GB/T1555的规定进行。4.4磷化铟单晶外形尺寸测量方法用精度为0.02mm的游标卡尺和精度为0.005mm的千分尺测量。2