真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 GBT 25755-2010.pdf

GB/T25755-20103.4启动压力naximum starting pressureps启动压力是指在关闭前级真空泵之后接通离子泵并开始有效地抽气的最大压力。4符号和缩略语符号名称单位C流导立方米/秒(m3/s)D测试罩名义直径米(m)隔板小孔直径米(m)e隔板孔缘直径米(m)M气体克分子质量千克/摩尔(kg/mol)Ps启动压力帕(Pa)qv休积流常立方米/秒(m3/s)R理想气体常数牛米/摩尔开Nm/(molK)S.名义抽速立方米/秒(m3/s)T热力学温度开(K)5最低工作压力的测量5.1测量条件5.1.1气体种类作为测量用气体，一般可以用氨气或氩气，不过其他气体如氢气和氢气也可以用来做测量气体。最低工作压力通常是以氨气等效压力给出的，其他气体的最低工作压力用各自测量用气体的等效压力给出。5.1.2密封性包括离子泵在内的测量装置漏常不得大于110-Pam/s。5.1.3真空泵所测量的离子泵按制造厂家的规定条件进行驱动。建议使用离子泵制造厂家的配套电源。前级泵不能用被有机气体污染过的，且应能够达到离子泵的启动压力。5.2测量仪器5.2.1真空计测量用电离直空计应经过校准，配合测试罩2（见图2）测休积流率的真空计（含电离规管）在所测量的压力范围内，压力读数误差不能超过士10%。配合测试罩1（见图1）测最低工作压力、体积流率的直空计（含电离规管），误差不得超过士20%。5.2.2测试罩及其使用条件5.2.2.1测试罩测试罩具有圆形的断面，其名义直径为D。对于人口法兰直径大于或等于名义直径DN100的离子泵，D与离子泵入口法兰名义直径相同：对于人口法兰名义直径小于DN100的离子泵，D与DN100名义直径相同，而不考虑离子泵的大小，到离子泵入口法兰用连接件（见图3）连接。测试罩顶部为平的、例弧形或斜面，但距法兰平面应具有相同的平均高度。测试罩与高子泵之间连接法兰的密封圈由制造厂推荐，测试罩应能承受400真空烘烤。测试罩上设有能均匀地加热到300的加热装置。