真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第3部分：溢流阀压差的测量 GBT 25753.3-2011.pdf

GB/T25753.3-2011真空技术罗茨真空泵性能测量方法第3部分：溢流阀压差的测量1范围GB/T25753的本部分规定了罗茨真空泵溢流阀压差的测量方法。GB/T25753的本部分适用于抽速为30L/s20000L/s的罗茨真空泵（以下简称泵）。本部分不适用于罗茨真空泵机组性能的极限压力和抽气速率的测量。2术语和定义下列术语和定义适用于本文件。2.1溢流阀压差overflow valve differential pressure溢流阀压差是溢流阀进行起跳动作时罗茨真空泵前级压力与人口压力之差。2.2测试罩test dome具有精确规定形状和尺寸的专用真空容器，被测量的气体通过它进入泵内，其上装有压力测量装置。3装置3.1测试罩如图1所示，形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.5D,D是罩的内径。试验气体入口位于罩的轴线上，并与连接法兰的距离为D,进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量入口压力的真空计在距离连接法兰0.5D处，其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵入口法兰平面。除了进气管路外，法兰和测试罩之间的连接管路不应穿出测试罩的内壁。测试罩的容积V。至少应是泵一个压缩周期扫过容积V。的5倍。在泵入口应连接一个异径接头，其长度不应超过0.5D(见图1)。不同规格的泵适用的测试罩由表1给出。表1测试罩的参数Ve/LVo/LD/mm00.261.31000.261.15.41601.14.2212504.217844001765325630652601300100026010605300160010604060203002500