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用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
GBT
16878-1997
用于
集成电路
制造
技术
检测
图形
单元
规范
16878
1997
ICs31.200L97GB中华人民共和国国家标准GB/T16878-1997用于集成电路制造技术的检测图形单元规范Specification for metrology pattern cellsfor integrated circuit manufacture1997-06-20发布1998-03-01实施国家技术监督局发布