刑事技术微量物证的理化检验 第6部分：扫描电子显微镜法 GBT 19267.6-2003.pdf

GB/T19267.6-2003刑事技术微量物证的理化检验第6部分：扫描电子显微镜法1范围本部分规定了扫描电镜的检验方法。本部分适用于刑事技术领域中微量物证的理化检脸，其他领域亦可参照使用，2规范性引用文件下列文件中的条款通过GB/T19267的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本部分。GB/T13966一1992分析仪器术语3术语和定义GB/T13966中确立的以及下列术语和定义适用于本部分。3.1扫描电镜scanning electron microscope(SEM)在扫描线圈的磁场作用下，由电子枪发射的电子束在样品表面按一定的时间、空间顺序作光栅扫描(也称逐点扫描)，由探测器接收样品中激发的二次电子等信号，再经光电转换在荧光屏上观察到反映样品表面形貌的电子图的方法。3.2能谱法energy dispersive spectrometry(EDS)用具有一定能量和强度的粒子束爱击试样物质，根据试样物质被激发的粒子能量和强度，或被试样物质反射的粒子能量和强度的关系图（称为能谐）实现对试样的非被坏性元素分析、结构分析和表面物化特性分析的方法。3.3扫描电镜能谱法SEM-EDS微束电子轰击试样，激发试样微区的各元素特征X射线，探测系统显示出该微区各元素特征的X射线能量和强度的关系图（称能谱）以及它们在试样表面的分布图。3.4二次电子secondary electrons这是样品中原子的外层电子受人射电子的激发而发射到样品以外的非弹性散射电子。通常它的能量较低，而且它的产生区域较小。3.5二次电子成像secondary electron image二次电子被检测器接收后成像。它是扫描电镜最基本的成像功能。它的产生区域的深度为数个到数十个m,所以是研究样品表面形貌的最有用的工具。