砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 GBT 8758-1988.pdf

中华人民共和国国家标准UDc661.868.1.46:620.1砷化镓外延层厚度红外干涉GB8758-88测量方法Measuring thickness of epitaxial layers ofgallium arsenide by infrared interference本标准适用于碑化镓外延层厚度的测定。可测厚度大于2。婴求村底电阻率小于0.029cm,外延层的电阻率大于0.1？cm。1原理衬底与外延层的光学常数差别较大，当红外光入射到外延片表面时，在反射光谱中产生干涉条纹。根据干涉条纹的极大值或极小值的波长位管、衬底和外延层的光学常数以及光束的入射角，计算出外延层的厚度。2样品要求2.1样品应具有良好的光学表面，不应有大面积的钝化层。2.2衬底和外延层的导电类型和衬底电阻率应是已知的。3仪器和附件3.1仪器3.1.1波长范围为2.550um(4000200cm-)的双光束红外分光光度计或傅立叶变换红外光谱仪。3.1.2波长重复性和波长精度至少为0.05um.3.1.3在1000cm-处，光谱分辨率为2cm-或更小。3.2附件3.2.1与分光光度计相匹配的反射附件，入射角不大于30。3.2.2光阑：应以非反射的黑体材料制成，具有各种孔径。4测量步骤4.1分光光度计校准4.1.1测定波长精度和重复性。测量厚度为3005004m聚苯乙烯膜吸收光谱，并以3.303um吸收带为测量参考谱带，测量10，次，其结果应满足3.1.2的要求。4.1.2将反射附件置入光路中，测量100%线，其峰谷值应小于8%。4.2,测量条件选择4.2.1安装反射附件4.2.2按照下列步骤选择最大的扫描速度。使用村底和外延层电阻率分别为0.008。cm和0.122cm的外延片在波长大于25um处仍能观察到极值的样品。中国有色金属工业总公司1988-02-04批准1989-02-01实施