流化床法颗粒硅 GBT 35307-2017.pdf

中华人民共和国国家标准流化床法颗粒硅GB/T35307一2017中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029)北京市西城区三里河北街16号(100045)网址：www,spC.org.Cn服务热线：400-168-00102017年12月第一版书号：1550661-58578版权专有侵权必究GB/T35307-2017流化床法颗粒硅1范围本标准规定了流化床法生产的颗粒硅的术语和定义、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以硅烷气为原料，采用流化床法生产的颗粒状多晶硅产品。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T14264半导体材料术语GB/T14844半导体材料牌号表示方法GB/T24581低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中、V族杂质含量的测试方法GB/T31854光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等高子体质谱测量方法GB/T35309用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多品硅的规程ISO13322.2粒度分析-图像分析法第2部分：动态图像分析方法(Partical size analysis-Imageanalysis methods-Part 2:Dynamic image analysis methods)3术语和定义GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。4要求4.1牌号颗粒硅的牌号表示按GB/T14844的规定，可表示为：-PSi-G-表示用途，E表示电子级，S表示太阳能级颗粒硅等级，特级用“T”表示，其他用阿拉伯数字表示表示颗粒状表示多品硅表示生产方法，G表示硅烷法4.2技术指标颗粒硅的等级及相关技术指标要求应符合表1的规定。GB/T35307-2017表1技术指标技术指标项目特级1级2级3级施主杂质浓度0.301.102.304.8010-9(ppba)受主杂质浓度0.200.260.541.3210-(ppba)碳浓度2.01082.510F3.010r5.0101ratoms/cm2氢浓度30303030mg/kg总金属杂质平均浓度(Fe,Cr.Ni.Cu.Na)10100300600ng/g4.3尺寸4.3.1特级颗粒硅中线性尺寸小于或等于300m的颗粒硅重量占比应不大于0.5%，4.3.21等级，2等级、3等级颗粒硅的尺寸应符合下列要求：)小于150m的颗粒硅重量占比应不大于5%，b)150m4000m的颗粒硅重量占比应不小于90%；c)大于4000m的颗粒硅重量占比应不大于5%，。4.4表面质量颗粒硅的外观应无色斑、变色，无可见的污染物和氧化的外表面，无肉眼可见异物。5试验方法5.1施主杂质浓度、受主杂质浓度、碳浓度的检测前，需按照GB/T35309规定的方法将颗粒硅样品制备成单品试样后进行。5.2颗粒硅的施主杂质浓度，受主杂质浓度的检验按GB/T24581的规定进行。5.3颗粒硅的碳浓度检验按GB/T1558的规定进行。5.4颗粒硅的氢浓度测定用基于熔融后非色散红外吸收法原理的氢分析仪进行，或用供需双方商定的方法检验。5.5颗粒硅的总金属杂质平均浓度测定按GB/T31854的规定进行。5.6颗粒硅的尺寸用筛分法检验，或按S013322.2的规定进行，也可用供需双方商定的方法检验。5.7颗粒硅的表面质量用目视检查。6检验规则6.1检查和验收6.11产品应由供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写产品质量证明书。2