平板显示器基板玻璃表面波纹度的测量方法 GBT 32643-2016.pdf

GB/T32643-2016平板显示器基板玻璃表面波纹度的测量方法1范围本标准规定了使用触针式表面祖糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面被纹度的测量方法，本标准适用于测量平板显示器用基板玻璃的表面波纹度。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T32642一2016平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法3术语和定义GB/T32642一2016界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.12CR滤波器2 CR filter时间常数相等的2组R-C回路串联连接的滤波器。在截止波长下的标准传输率是75%。3.2高斯滤波器Gaussian phase correct filter将高斯分布作为权函数，将截面曲线中演算积分后的曲线规定为相位补偿滤波纹度曲线，在截止波长下的传输常是50%。3.3预行程（和后行程）pre-travel(and post-travel)Lp为避免由于截止滤光器的瞬态反应而引起的剖面图失真，从示踪长度上诚除的部分。注：建议在示踪长度开始阶段和没有后行程的情况下，用2CR滤波器的顶行程应为截止长波长入，的2倍，建议在使用相位校正滤波器时，预行程和后行程都应该与截止长波长入，相同。3.4测定长度evaluation lengthL.一种扣除预行程和后行程后的迹线长度。测量样品的长度应包含波纹度的剖面曲线长度。3.5截止长波长long wavelength cut-off入排除自然因素，当示踪轮廓曲线通过消除波纹因素彩响的高通波长滤波器后，振幅衰诚率成为75%时的波长。