容积真空泵性能测量方法 第2部分：极限压力的测量 GBT 19956.2-2005.pdf

GB/T19956.2-2005/1S01607-2:1989前言GB/T19956容积真空泵性能测量方法分为两个部分：一第1部分：体积流率（抽速）的测量：一第2部分：极限压力的测量。本部分为GB/T19956的第2部分。本部分等同采用IS01607-2:1989容积真空泵性能测量第2部分：极限压力的测量（英文版）。本部分代替JB/T7266一1994容积真空泵性能测量方法，本部分等同制译1S01607-2:1989。为使于使用，本部分做了下列编辑性修改：a)“IS01607的本部分”一词改为“GB/T19956的本部分”：b)用小数点符号“.”代替作为小数点的逗号“，”，)删除了国际标准的前言：d)增加了资料性附录A,以供参考使用。本部分由中国机被工业联合会提出。本部分由全国真空技术标准化技术委员会归口。本部分起草单位：山东淄博真空设备厂有限公司，沈阳真空技术研究所。本部分主要起草人：黄毅、燕洪顺、张连庆、王学智。GB/T19956.2-2005/1S01607-2:1989容积真空泵性能测量方法第2部分：极限压力的测量1范围GB/T19956的本部分规定了容积真空泵极限压力测量方法，所研究的泵是直接排大气的并且单级低于100P:”的入口极限压力。2规范性引用文件下列文件中的条款通过GB/T19956的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本部分。GB/T19956.1一2005容积真空泵性能测量方法第1部分：体积流率（抽速）的测量(1S01607-1:1993,IDT)3术语和定义下列术语和定义适用于GB/T19956的本部分。3.1极限压力ultimate pressure泵在正常工作情况下，关闭进气阀门，测试罩内趋向的量低压力。在非可凝性气体极限压力和极限全压力之间必定产生一个差别。3.2测试罩test dome是装在泵人口具有规定形状和尺寸的容器，被测量的气体通过它进入泵内，其上装有压力测量装置。4装置4.1测试罩如图1所示，形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.5D,此处，D是罩的内径。试验气体进口在罩的轴线上，并与连接法兰的距离为D,进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进人测试罩。测量入口压力和极限压力的真空计在距高连接法兰0.5D处，其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵入口法兰平面。测试罩的容积V。至少应是泵一个压缩周期扫过容积V。的5倍。在泵人口必须连接一个异径接头，其长度不应超过0.5D(见图1)。对于给定规格的泵，罩尺寸在表1中给出。1)100Pa=100N/m2=1mba;133Pa=1orrGB/T19956.2-2005/1S01607-2:1989表1Vr/LVo/LD/mm00.261.31000.261.15.41601.14.2212504.2178440017653256306526013001000注：实际上，测试罩在形式上与已经采用的容积真空泵体积流率测量（见GB/T19956.1一2005）是同步的。就极限压力测量而论，气体实际进口不需要按规定安排。罩的温度应保持在20C到25C之向，4.2压力计测量的极限压力仅限于非可凝性气体，计的校淮精度，对于压力高于或等于1Pa时为士5%，对于更低压力，校准精度为士10%。压力计应用适当设计的冷阱与其相连以保证仅响应非可凝性气体的压力。4.3真空计测量极限压力的真空计，如薄膜计，其灵敏度与气体或蒸汽性质无关。真空计应以被测压力士10%的精度校准，对于这种测量，在罩和计的连接管路间，不应装冷阱。5试验方法5.1原理所采用的方法是将规定型式的测试罩装到泵的入口上，在规定的温度下测量极限压力，5.2程序首先在确保罩内的内表面清洁、干燥以后，将测试罩装到泵入口上。按照测量要求，压力计和真空计（见4.2和4,3）应与测试罩连接。如果罩在测量前烘烤了，冷却后，应在几分钟内充入周围干燥空气，使压力至少到100P,然后应关闭罩的进气口。泵应注人规定种类和数量的新油，并按制造厂规定的转速运转。除另有规定外，环境温度应低于25C。启动后，泵应在气镇下至少运转1h,然后关气镇再运转1h,此后，应以30min时间间隔进行压力测量，当3次连续压力测量表明压力不再进一步降低时，即认为达到了极限压力。上述试验也可以在充分气镇下（气镇阀全开）进行。直到泵已经达到平衡温度，才开始一系列测量。注：真空计的选用参见附录A。6试验报告全部试验结果报告，应指出试验准确性和试验条件。6.1一般条件a)结果指的是极限全压力还是非可凝性气体的压力：b)在运转中是否有气镇。6.2附加条件a)所用测量仪器的类型和工作条件：b)泵人口上的密封型式和所用密封材料：)所用的阱的型式及其在试验时的温度，d)冷却水流量：e)泵的转速；