利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 GBT 27760-2011.pdf
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利用Si111晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
GBT
27760-2011
利用
Si
111
原子
台阶
显微镜
纳米
高度
测量
进行
校准
方法
27760
2011
ICS19.020N04中华人民共和国国家标准GB/T27760一2011利用S(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope atsubnanometer displacement levels using Si(111)monatomic steps2011-12-30发布2012-05-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
