金属覆盖层厚度 轮廓尺寸测量方法 GBT 11378-1989.pdf

GB11378-89为了避免这些误差或额外的数学运算，仪器基准面与测试平面应是平行的，这可用合适的夹具和装配做到。6.4测量力的大小如果作用于触针上的测量力太大，触针会造成刮伤或变形，可能引进测量误差，故应使测量力保持最小值，一般不应超过附求A中表A1所给的合理值。6.5触针的直径和表面粗髓度对粗髓平面使用大直径触针比较合宜。如果此时使用小直径触针，因所记录的台阶的顶部和底部轮廓线中线不易确定，台阶的高度很难精确测量。对基体与覆盖层粗糙度不同的表面使用小直径触针误差较小，如果此时使用大直径触针，所记求的台阶轮廓常常失真，原因是由于两表面上轮廓峰水平间距不同，触针在一个表面上比另一个表面上易处于高点位置。配备电子滤波器的小直径触针，可获得半滑的轮廓，但台阶轮廓的拐角可能变圆了。原则上所记录的基体粗糙度（表面轮廓峰至谷的高度）不应超过台阶高度的10%。6.6振动振动会导致心求的轮廓产生不规则性或扰，使进行精密测量困难。应将仪器与振源隔离，使其影响减至最小。原则上，峰至谷的高度不应超过台阶高度的10%。6.7表面曲率表面曲率会妨碍台阶轮郭的精确测量，故应尽可能在平直的表面上进行测量。如果是在弯曲的表面上进行测量，记求针的移动应在最小的曲率方向，例如在圆柱体的表面上进行测量时，记求针应在轴线的半行方向上移动。6.8清洁度任何附着物，如灰尘、油脂以及腐蚀物均会导致错误的测量。故对待测的表面应做清洁处理，实验室的空气应基本上洁净尤粉尘。6.9温度温度的变化会影响测量。因此，室内温度应保持均匀、稳定。6.10台阶形状如果制的台阶不好（例如棱角过圆），由于台阶顶部与底部的平面高度不易确定，给精密测量带来困难，故台阶应精细制作。6.11基准面采用两种基准面：一种是跨骑在试样表面上的圆形导头在试样波峰上滑行形成的基准面；一种是由仪器基准附件提供的基准面，它不依赖于试样，是一个与试样轮郭相以的标称形状的辅助导面。当触针随其托架沿基准面滑行时，触针相对于基准面的垂言运动就被记录仪记求下来。轮廓记求的可靠性决定于基准面的质世（平滑度和平直度）。6.12校准厚度测量误差不会小于仪器的校准误差和用来校准仪器的标准台阶高度的误差。因校准后可能发生变化，故需经常校准，校准次数根据经验而定。即使细心地校正仪器，因仪器的非线性特性，还可能有2%的误差，为使此误差最小，仪器可在靠近待测台阶高度两边的两点进行校准。7校准7.1应根据仪器说明书校准仪器，并适当考虑第6章中列举的影响因素。7.2用于校准仪器的标准块，其台阶高度误差应是已知的，且小于56。但是，若台阶高度小于0.1m,其误差可能大大超过5。7.3每隔一定时间以及每当怀疑校准有变化时，就应进行重复校准（见6.12条）。3