金属和氧化物覆盖层 横断面厚度显微镜测量方法 GBT 6462-1986.pdf
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金属和氧化物覆盖层
横断面厚度显微镜测量方法
GBT
6462-1986
金属
氧化物
覆盖层
横断面
厚度
显微镜
测量方法
6462
1986
GB6462-864测量4.1应注意第2章和附录A中所列的各种因素对测量的影响。4.2用验证或标定过的载物台测微计校准显微镜及其测量装置。4.3测量覆盖层横断面图象的宽度，在显微断面上、沿长度至少取五点测量。5精度要求对于显微镜及其附件的使用与标定，以及横断面的制备方法都应加以选择，使待测覆盖层厚度的误差在1m或真实厚度的10%中较大的一个值之内，作良好的条件下，使用一台金相显微镜，本法能得到0,8m的绝对测量精度，当厚度大于25m时，合理的误差均为5%或者更小。6试验报告试验报告应包括下列内容：.所取横断面在镀件上的位置：b.每点上测量的厚度（见4,3）以微米计、若大1mm以毫米计：，局部厚度，根据测量值计算的算术平均值：d.横断面上测量点分佰的长度。3
