洁净机器人通用技术条件 GBT 37416-2019.pdf

GB/T37416-2019洁净机器人通用技术条件1范围本标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试险方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。本标准适用于在洁净室使用的，在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T4768防霉包装GB/T4857.23包装运输包装件基本试验第23部分：随机振动试验方法GB/T4879防锈包装GB/T5048防潮包装GB5226.1一2008机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件GB/T7932一2017气动对系统及其元件的一般规则和安全要求GB/T9969工业产品使用说明书总则GB11291.1一2011工业环境用机器人安全要求第1部分：机器人GB/T12642一2013工业机器人性能规范及其试验方法GB/T13306标牌GB/T25915.1一2010洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级GB/T32293一2015真空技术真空设备的检漏方法选择JB/T8896一1999工业机器人验收规则3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1工业机器人industrial robot自动控制的、可重复编程、多用途的操作机，可对三个或三个以上轴进行编程。在工业自动化中使用。注1：工业机器人包括：一操作机，含制动器：一控制器，含示教盒和某些通信接口（硬件和软件）.注2：这包括某些集成的附加轴。注3：它可以是固定式或移动式。注4：改写GB/T12643一2013，定义2.9.1GB/T37416-20193.2洁净室clean room空气悬浮粒子浓度受控的房间。注1：它的建造和使用能诚少室内渗入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力也会受拉。注2：改写GB50073一2013，定义2.0.1，3.3真空vacuum用于描述低于大气压力或大气质量密度的稀薄气体状态或基于该状态环境的通用术语。GB/T3163一2007，定义2.33.4洁净机器人cean-room robot在洁净室(3,2)使用的，在电子器件制造、医药制造、食品制造等行业执行搬运等任务的工业机器人(3.1)。注：可适用于大气和真空环境，3.5大气机器人atmospheric robot机器人整体或部分在大气环境下使用的洁净机器人(3.4)。3.6真空机器人vacuum robot机器人整体或部分在真空(3.3)环境下使用的洁净机器人(3.4)。3.7洁净度cleanliness以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。GB50073一2013，定义2.0.123.8漏率leak rates在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。GB/T3163-2007,定义6.1.94产品分类按使用环境分为：a)大气机器人：b)真空机器人。5性能洁净机器人（以下简称机器人）的性能指标参数，应在产品标准中规定，包括下列各项：a)各轴运动范围：b)最大单轴速度；c)位姿准确度和重复性：d)位置稳定时间；c)轨迹准确度和重复性；2