洁净室及相关受控环境 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性 GBT 25915.15-2022.pdf
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洁净室及相关受控环境
第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性
GBT
25915.15-2022
洁净室
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GB/T25915.15-2022/1S014644-15:2017目次前言4引言N】范围12规范性引用文件3术语和定义4符号35检测装置9999046代表性模式67目视检查78检测流程9浓度的计算810特定释放速率的计算811评定912记录10附录A(资料性)已安装设备的适用性评定示例12附录B(资料性)洁净室或洁净区域已安装板壁材料的适用性评定计算示例13附录C(资料性)设计阶段洁净室设备和地面材料适用性评定14参考文献16
