洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 GBT 25915.12-2021.pdf

GB/T25915.12-2021/1S014644-12:2018前言本文件按照GB/T1.1一2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件是GB/T25915洁净室及相关受控环境的第12部分。GB/T25915已经发布了以下部分：一第1部分：按拉子浓度划分空气洁净度等级：一第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测：一第3部分：检测方法一第4部分：设计、建造、启动：一第5部分：运行；一第6部分：词汇：一第7部分：隔高装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）：第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级；一第9部分：按粒子浓度划分表面清净度等级：一第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级：一第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。本文件等同采用1S014644-12:2018洁净室及相关受控环境第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。本文件起草单位：中天道成（苏州）洁净技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司，苏州苏信环境科技有限公司、苏州市计量测试院、江苏苏净工程建设有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国标准化协会、国家纳米科学中心、中国合格评定国家认可中心、南京天加环境科技有限公司、美埃（中国）环境科技股份有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、北京恒泰建业工程项目管理有限公司、贺氏（苏州）特殊材料有限公司。本文件主要起草人：王尧、姜伟康、蔡杰、孙玉澄、王其祥、王大千、姜皓遐、朱兰、翟传明、将乃军、邴绍同、石小雷、高正、吴小泉、叶伟强、张敏、董玉平、郝胤博、惠旅峰、肖铁群。