基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 GBT 38614-2020.pdf
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基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
GBT
38614-2020
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陶瓷
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38614
2020
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