气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 GBT 5832.3-2011.pdf

GB/T5832.3-2011气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法1范围本部分规定了采用光腔衰荡光谱法测定气体中微量水分的术语和定义、方法原理、对仪器的一般要求、试验步骤、结果处理和报告。本部分适用于含量的体积分数为0.210-92010-的气体中水分的测定。不适用于硅烷等遇光照易分解及含有对水的吸收光谱有干扰的组分的气体中水分的测定。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3723工业用化学产品采样安全通则3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1光腔Cavity由高反射率的镜面组成的稳定光学指振腔。3.2光腔衰荡Cavity Ring-Down光在光腔内来回反射振荡，由于腔损耗和腔内被测组分的吸收，光强度随时间呈N次单指数衰诚。3.3光腔衰荡时间Cavity ring-Down Time光腔内光子数量衰减到初始量的1/(e为自然数)时所用的时间。4方法原理一束单波长激光进入光腔后，光束在腔镜之间来回反射振荡。当切斯光源后，其能量就会随时间而衰减，衰诚的速度与光腔自身的损耗（包括透射、散射）和腔内被测组分（介质）的吸收有关。对于给定的光腔，其自身的损耗为常量。光能量衰诚的速度与被测组分的含量有关。被测组分的含量与其分子在光内的密度成正比，分子的密度由衰荡时间按式(1)确定：D=1,11e(x()tmw3n1n3n1nna1n（1）式中：一无吸收介质的衰荡时间，单位为秒(s):一光速：1