碳化硅单晶片平整度测试方法 GBT 32278-2015.pdf

GB/T32278-20158试样碳化硅单品抛光片应用无水乙醇浸泡并使用超声波清洗机清洗，确保品片表面清洁。9测试程序9.1总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)的测试9.1.1开机预热10min。9.1.2选择总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)测试卡盘，装机。9.13选择合适的光学校准片对仪器进行校准，消除由于卡盘倾斜引入的误差。9.14将样品放在相应的测试卡盘上，并固定。打开真空泵。9.1.5选择总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)测试程序，设置合适的测试参数，输入样品编号。9.1.6对样品进行调平，当干涉条纹最少时，表示样品表面已经调整到最佳测试位置，9.17点击“测试”按钮进行样品扫描。9.18扫描结束，保存扫捕图像，记录测试结果。9.19关闭真空泵，取下样品，收好测试卡盘。9.2弯曲度(Bow)、翘曲度(Warp)的测试9.2.1开机预热10min。9.2.2选择弯曲度(Bow)、翘曲度(Warp)测试卡盘，装机。9.23将样品放在相应的测试卡盘上，根据设备要求将样品固定，9.2.4选择弯曲度(Bow)、翘曲度(Wap)测试程序，设置合适的测试参数，输人样品编号。9.2.5对样品进行调平，当干涉条纹最少时，表示样品表面已经调整到最佳测试位置。9.2.6点击“测试”按钮进行样品扫描。9.27扫描结束，保存扫描图像，记录测试结果。9.2.8取下样品，收好测试卡盘。10精密度本标准在3个实验室分别对直径为50.8mm和76.2mm的2片碳化硅单品抛光片的平整度进行了测试，分别对4项参数重复测试5次，重复性最大相对偏差为1.7%，再现性最大相对偏差为25.2%。11测试报告测试报告应包括如下内容：)样品编号：b)测量日期：c)测试结果(TTV、LTV、Bow、Warp);d)测试扫捕图：e)本标准绵号：D测试人签字。