硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 GBT 24578-2015.pdf
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硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
GBT
24578-2015
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24578
2015
ICS77.040H17中华人民共和国国家标准GB/T24578-2015代替GB/T24578-2009硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafersby total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy2015-12-10发布2017-01-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
