硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则 GBT 28274-2012.pdf
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硅基MEMS制造技术
版图设计基本规则
GBT
28274-2012
硅基
MEMS
制造
技术
版图
设计
基本
规则
28274
2012
GB/T28274-2012前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、西北工业大学。本标准主要起草人：张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波、熊斌、乔大勇。I
