硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法 GBT 14145-1993.pdf
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硅外延层堆垛层错密度测定
干涉相衬显微镜法
GBT
14145-1993
外延
堆垛
密度测定
干涉
显微镜
14145
1993
GB/T14145-937测量结果计算7.1计算试样9个测量位置上层错数的总和。7.2按下式计算试样堆垛层错的密度：Ng=14.15n/d1式中：Ns一试样层堆垛层错密度，cm2,m:一一9个规定测量位置上视场内层错数的总和；d一显微镜视场的直径，mm。8精密度本方法单个实验室测量的精密度为士30%(R2S),多个实验室测量的精密度为土60%(R2S)。9试验报告报告应包括以下内容：a.试样编号，b.试样每个测量位置上视场内的层错数：c.试样的品向；d.显微镜的放大倍数：e,显微镜的视场直径，mm【.试样堆垛层错密度的计算结果，cm2;g本标准编号h.检测单位、检测者及检测日期。附加说明：本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由上海有色金属研究所负责起草。本标准主要起草人林敏敏、夏锦禄。
