红外硫系光学薄膜折射率测试方法 GBT 40293-2021.pdf

GB/T40293-202112.5m)。6.2.2分光光度计：光谱范围覆盖4000cm-150000cm-1(0.2m2.5m),7样品样品制备及要求如下：:)采用热蒸发或磁控溅射方法将相应的靶材蒸镀或溅射到双面抛光的二氧化硅或硅等能够测试薄膜透射率的衬底上，制备得到测试样品，b)用洗耳球吹扫样品表面，再用乙醇溶剂擦拭干净被测样品，确保样品表面干净平整，无肉眼可见的灰尘、杂物等可能影响测试结果的外来杂质，放置在第5章规定的测试条件下，待被测样品表面干燥后，放入干燥皿中待测。8测试步骤8.1薄膜厚度测量利用触针式轮哪仪按照GB/T33826一2017则试样品上薄膜厚度，或利用原子力显微镜按照GB/T36969一2018测试样品上薄膜厚度。8.2样品透射率测量样品透射率测量步骤如下：a)打开傅里叶红外光谱仪和分光光度计，预热30min:b)将被测样品从干燥皿中取出，放置于傅里叶红外光谱仪的样品台上，设置光谱范围为800cm-14000cm-,测量样品在中红外区域的光谱透射率T();)将被测样品从傅里叶红外光谱仪的样品台上取出，放置于分光光度计的测试台上，设置光谱范围为4000cm150000cm-,测量样品在近红外和可见光区域的光谱透射率T()；d)将样品取下放人干燥皿。9数据处理与折射率计算9.1样品分类根据样品透射率的实际测量结果与理论计算结果的关系将样品分为均匀样品、非均匀样品两大类。具体方法如下：)按公式(4)计算得到样品的理论最大透射率Tm:2sTma-44（4）2十1式中：T一样品中衬底的透射常，即样品的理论最大透射率；一样品中村底折射率，b)根据测量的不同波长处的光谱透射率T()获得其最大值Tx;c)按公式(5)计算比值R:R=IT-TwaxlT