红外类金刚石膜 GBT 32559-2016.pdf

GB/T32559-20165.2膜层光学性能5.2.1光谱反射比在红外储、硅、硫化锌等基底上单面制备红外类金刚石膜，不同波段的光谱反射比要求按表2的规定。表2光谱反射比波段范围光谱反射比储基底硅基底硫化锌基底其他基底平均反射比短波最大反射比平均反射比3.5%3.5%2%中波最大反射比9%9%3%平均反射比3%3%2%长波最大反射比7%7%3%注1：反射比使用单面镀红外类金刚石膜，另一面磨毛的测试片进行测量，注2：“一”表示按需求确定技术指标。5.2.2光谱透射比在红外锗、硅、硫化锌等双面抛光基底上单面制备红外类金刚石膜后，不同波段的光谱透射比要求按表3的规定。表3光谱透射比波段范围光语透射比储基底硅基底硫化锌基底其他基底平均透射比短波最小透射比一一平均透射比59%67%76%中波最小透射比58%65%70%平均透射比59%40.5%74%长波最小透射比55%19%69%注1：透射比使用单面镀红外类金刚石膜，另一面抛光的测试片进行测量，注2：“一”表示按需求确定技术指标。5.2.3膜层光学均匀性零件表面有效口径内，膜层光学均匀性是以膜层中心与距中心75%的直径处的平均反射比或平均透射比的相对偏差表示，按表4的规定。2