硅晶锭尺寸的测定 激光法 GBT 37213-2018.pdf

GB/T37213-2018硅晶锭尺寸的测定激光法1范团本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅品锭尺寸的方法，包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度，本标准适用于半导体及光伏领域硅单品棒或多品硅铸锭切割成的方形硅品锭尺寸的测量。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T14264半导体材料术语GB/T25076太阳能电池用硅单晶GB/T29054太阳能级铸造多品硅块3术语和定义GB/T14264、GB/T25076和GB/T29054界定的术语和定义适用于本文件，4方法原理采用激光技术构架一个尺寸测量系统，用激光光源作为入射光照射硅品锭。通过激光探头接收激光反射信号，形成激光脉冲波形图，并将数据反馈至计算机软件处理控制系统。通过计算机软件处理控制系统对硅晶锭对角线、倒角、垂直度、边长、长度参数进行模拟与计算，从而得出硅晶锭的尺寸参数。硅品锭对角线、倒角、垂直度参数由激光测量组件A、B、C、D测量，如图1所示。硅品锭边长、长度参数由激光测量组件P、L、Q、R测量，如图2所示。测量硅品锭长度时，硅品锭垂直于激光测量组件平面运动，当硅品锭第一湍面通过激光测量组件平面时，记录四个侧面的初始位置，当硅晶錠第二端面通过激光测量组件平面时，记录四个侧面的终止位置，进而确定硅品淀长度。硅品锭说明：AB.C、D一激光测量组件。图1硅品锭对角线、倒角、垂直度测量示意图