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硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定
直排四探针法
GBT
14141-1993
外延
扩散
离子
注入
薄层
电阻
测定
直排四
探针
14141
1993
硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 GBT 14141-1993.pdf,硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定,直排四探针法,GBT,14141-1993,外延,扩散,离子,注入,薄层,电阻,测定,直排四,探针,14141,1993