硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法 GBT 42263-2022.pdf
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硅单晶中氮含量的测定
二次离子质谱法
GBT
42263-2022
硅单晶中氮
含量
测定
二次
离子
质谱法
42263
2022
1CS77.040CCS H 17GB中华人民共和国国家标准GB/T42263-2022硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法Determination of nitrogen content in silicon single crystal-Secondary ion massspectrometry method2022-12-30发布2023-04-01实施国家市场监督管理兽局发布国家标准化管理委员会GB/T42263-2022前言本文件按照GB/T1.1一2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/T203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。本文件起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司。本文件主要起草人：马农农、何友琴、李素青、陈谦、刘立娜、何恒坤。
