光刻用石英玻璃晶圆 GBT 34177-2017.pdf

GB/T34177-2017前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。本标准起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有跟公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检脸中心。本标准主要起草人：吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语。IGB/T3417720174分类石英玻璃晶圆按纯度分为高纯石英玻璃晶圆(GC)和普通石英玻璃晶圆(PT)。5要求5.1规格尺寸及尺寸偏差5.1.1石英玻璃晶圆的形状如图1a)和图1b)所示，常规直径为50.80mm、76.20mm、100.00mm、125.00mm、150.00mm、200.00mm、300.00mm。直径偏差应不超过土0.25mm。5 mmd)带定位直边的石英玻璃品圆外形示意图L.00mm将装mm903)带定位角的石英玻璃品圆外形示意图说明：1一质量区：2一非质量区：一石英玻璃品圆直径：【一石英玻璃品例定位直边长度，图1石英玻璃晶圆外形示意图