电子工业用气体 硒化氢 GBT 26249-2010.pdf

GB/T26249-2010电子工业用气体硒化氢1范围本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮：运及安全。本标准适用于硒铝，硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。分子式：HzSe.相对分子质量：80.97588（按2007年国际相对原子质量计算）。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB5099钢质无缝气瓶GB/T5832.1气体中湿度的测定第1部分：电解法GB7144气瓶颜色标志GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB/T11640铝合金无缝气瓶GB14193液化气体气瓶充装规定GB/T26571特种气体储存期规范气瓶安全监察规程（国家质量监督检验检疫总局发布，2000年）3技术要求硒化氢的技术要求应符合表1的规定。表1技术指标项目指标硒化氢(H2Se)纯度（体积分数）10-99.99氢(H2)含量（体积分数）/1020氧十纸(O2十Ar)含量（体积分数）/10么10氨(N2)含量（体积分数）/1020一氧化碳(C0)含量（体积分数）/10-10二氧化碳(C0,)含量（体积分数）/1010总烃（以甲烷计）含量（体积分数）1010硫化氢(H,S)含量（体积分数）/1010水(H,O)含量（体积分数）1010GB/T26249-20104试验方法4.1检验规则4.1.1硒化氢产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。4.1.2硒化氢采样安全应符合GB/T3723的相关规定。4.2硒化氢纯度硒化氢纯度按式(1)计算：币=100一（币十币，十而十币，十而十十币，十而）X10(1)式中：币一硒化氢纯度（体积分数），10-2；一氢含量（体积分数），10-；而，一氧十氩含量（体积分数），106；西一氮含量（体积分数），10-6：西一一氧化碳含量（体积分数），106；中一二氧化碳含量（体积分数），108；而。一总烃含量（体积分数），106；布，一硫化氢含量（体积分数），105；西一水含量（体积分数），10-6，4.3放空测定硒化氢中的杂质含量时，应对放空的硒化氢试样进行处理，推荐采用活性炭和稀威溶液进行吸收中和。4.4氢、氧十氩、氨的测定4.4.1氢、氧十瓦、氨的則定见附录A。4.4.2允许采用其他等效的方法测定硒化氢中的氢、氧十氩、氮含量。当对测定结果有异议时，以本标准4.4.1规定的方法为仲裁方法，4.5一氧化碳、二氧化碳、总烃（以甲烷计）的测定按GB/T8984规定并采用预切割技术测定硒化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳和总烃含量。预分离柱：长约2.5m,内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm0.25mm的Porapak QS,色谱柱在180通载气活化约2h。或其他等效色谱柱。允许采用其他等效的方法测定硒化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳和总烃含量。当对测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。气体标准样品：组分含量（体积分数）为110-51010-6，其平衡气为氮。4.6硫化氢含量的测定4.6.1硫化氢的测定见附求B。4.6.2允许采用其他等效的方法测定硒化氢中的硫化氢含量。当对测定结果有异议时，以本标准4.6.1规定的方法为仲裁方法。4.7水分含量的测定按GB/T5832.1执行。仪器检测限：0.110-6（体积分数）。允许采用其他等效的方法则定硒化氢中水分含量。当对测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法为仲栽方法。2