电子工业用气体 氦 GBT 16943-1997.pdf
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电子工业用气体
GBT
16943-1997
电子工业
气体
16943
1997
GB/T16943-1997前言本标准是根据SEM1C3.20一92钢瓶装氮标准(1995年版)制定的，在技术要求上与之等同，检验方法与之等效。在将SEMI C3.20一92转化为本国家标准时，结合我国的实际情况，删去了SEMI C3.20一92中仅作为参考的物理常数和注释等内容，试验方法中增加了抽样和氮气纯度两条，各项杂质含量的测定，分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEM1标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异，并使标准的技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位：化学工业部西南化工研究院、四川石油管理局六菱化工公司。本标准主要起草人：余中玉、戴启文。
