电子工业用气体 磷化氢 GBT 14851-2009.pdf

GB/T14851-20094试验方法4.1抽样、判定和复验4.1,1磷化氢产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。4.1.2磷化氢采样安全应符合GB/T3723的相关规定。4.2磷化氢纯度磷化氢纯度按式(1)计算：p=100一(9十中2十克十p十4十可十中，)X10(1)式中一磷化氢纯度（体积分数），10-2：4一砷化氢含量（体积分数），10-6：,一氨含量（体积分数），106；一氧（氩）含量（体积分数），10-6：中：一一氧化碳含量（体积分数），10-6：一二氧化碳含量（体积分数），106：少。一总烃含量（体积分数），10；,一水含量（体积分数），10-6。4.3测定磷化氢中的杂质含量时，应有磷化氢尾气处理措施。4.4砷化氢，氨、氧（氩）的测定4.4.1砷化氢、氨、氧（氩）的则定见附录A。4.4.2允许采用其他等效的方法测定磷化氢中砷化氢、氨、氧（氩）含量。当测定结果有异议时，以4.4.1规定的方法为仲裁方法。4.5一氧化碳、二氧化碳的测定按GB/T8984规定的方法加上预切割或其他等效的方法测定磷化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳含量。当以上测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。仪器检测限的体积分数：0.110-。4.6总烃（以甲烷计）的测定按GB/T8984规定的方法加上预切割或其他等效的方法测定磷化氢中的微量总烃含量。当以上测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。仪器检测限的体积分数：0.110-6。4.7气体标准样品组分含量的体积分数为(1一10)10-s,平衡气为氨。4.8水分含量的测定4.8.1方法及原理采用光腔衰荡光谱法测定氨中水分含量。光腔衰荡光谱法通过测量时间而不是强度的变化来确定光学吸收。光腔衰汤光谱法水分仪的主要部件是激光源、一对高反射性镜面形成的光共振腔和光探测器。在光衰荡光谱法中，一小部分脉冲激光会进入光腔并且由高度反射性镜面反复多次反射，每次都有微小的光透过镜面而离开光腔。这部分光就构成了光衰荡信号。它的强度变化可以简单地用单指数衰减来描述，光的衰荡是由于光在共振腔中的损失决定的。如果光腔是空的，衰荡时间取决于镜子的反射率（假设散射和吸收与透射损失相比是微不足道的)，见式(2)：2