电子工业用气体 砷化氢 GBT 26250-2010.pdf
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电子工业用气体
砷化氢
GBT
26250-2010
电子工业
气体
26250
2010
GB/T26250-2010前言本标准的附录A和附录B为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/T203/SC1)归口。本标准起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院。本标准主要起草人：孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛，李建浩。
