电子工业用气体 四氟化硅 GBT 31058-2014.pdf
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电子工业用气体
四氟化硅
GBT
31058-2014
电子工业
气体
氟化
31058
2014
GB/T31058-2014表1（续）项目指标一氧化碳(C0)含量（体积分数）1050.1二氧化碳(C02)含量（体积分数）/10150.3甲烷(CH,)含量（体积分数）/10N101硫化氢(H2S)含量（体积分数）h0-0.1二氧化硫(S0,)含量（体积分数）/10254.1.2纯度为99.99910-2（体积分数）的四氟化硅产品应逐瓶检验。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。4.1.3四氟化硅采样安全应符合GB/T3723中的相关规定。4.2四氟化硅纯度4.2.1总杂质含量按式(1)计算：布g=布1十币2十币3十市，十币写十币6十市，十币g(1)式中：中，一总杂质含量（体积分数），106，D,一氢气的含量（体积分数），105；
