电子工业用气体 硅烷 GBT 15909-2017.pdf

GB/T15909-2017前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准代替GB/T15909一2009电子工业用气体硅烷。与GB/T15909一2009相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：一修改了标准名称，删除了标准名称中硅烷的分子式(SH,):一修改了范围：增加了适用的制备方法，修改了适用范围（见第1章，2009年版的第1章）：一修改了规范性引用文件.除GB/T8984.3、GB/T11640,增加GB/T11446.1、GB15258GB/T16804、GB/T26571、GB/T28726(见第2章，2009年版的第2章)：修改了技术要求：修改硅烷纯度为99.999910-2（体积分数）（见第3章，2009年版的第3章）：一删除了电性能规格（见2009年版的3.3）：一修改了硅烷纯度的计算（见4.2,2009年版的4.2）：一修改了氢、氧十氩、氨、甲烷、烃、一氧化碳、二氧化碳、乙硅烷含量的测定方法（见4.4,2009年版的4.4、4.6、4.7、4.9)：删除了测定氯化物总量测定方法（见2009年版的4.5）：增加了氯硅烷含量的测定方法（见4,4）：一修改了水含量测定方法的仪器检测限（见4.5,2009年版的4,8）：一增加了金属及其他元素含量的测定方法（见4.6）：一修改了标志、包装、贮运及安全（见第5章，2009年版的第5章）。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出，本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气休分技术委员会(SAC/TC203/SC1)归口。本标准起草单位：西南化工研究设计院有限公司、浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心、江苏中能硅业科技发展有限公司、折江中宁硅业有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司、渐江大学、安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司。本标准主要起草人：余京松、杨智敏、铸红、杜汉盛、孙福楠、牛艳东、李长富、周朋云、曲庆、方华、陈鹰、常侠、刘晓霞、周延江、高平洲、徐昕。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GB/T15909一1995、GB/T15909-2009.GB/T15909-2017电子工业用气体硅烷1范围本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。它主要用于制作高纯多品硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多品硅隔高层、多品硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料以及离子注人入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等，分子式：SiH。相对分子质量：32.117（按2011年国际相对原子质量）。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB/T5099钢质无缝气瓶GB/T5832.1气体湿度的测定第1部分：电解法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T11446.1电子级水GB/T14193液化气体气瓶充装规定GB15258化学品安全标签编写规定GB/T16804气瓶警示标签GB/T26571特种气体储存期规范GB/T28726气体分析氢离子化气相色谱法TSGR0006气瓶安全技术监察规程危险化学品安全管理条例特种设备安全监察条例3技术要求3.1技术指标硅烷的质量应符合表1和表2的要求。表1技术指标项目名称指标硅烧(SiH,)纯度（体积分数）/1099.9999