多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 GBT 32652-2016.pdf
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多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
GBT
32652-2016
多晶
铸锭
石英
坩埚
熔融
32652
2016
ICS31.030L90中华人民共和国国家标准GB/T32652一2016多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon2016-04-25发布2016-11-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T32652-2016前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口，本标准起草单位：国家硅材料深加工产品质量监督检险中心、东海县产品质量监督检验所、江苏中腾石英材料科技有限公司、中材高新江苏硅材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。本标准主要起草人：薄雷明、程尚栩、栾振祥、张存君、王祥、许振午、李建德、管琪、冯亚彬。I
