表面化学分析 X射线光电子能谱 选择仪器性能参数的表述 GBT 28892-2012.pdf

GB/T28892-2012/1S015470:20045.4.2阳极功率应通过标明电子源和X射线阳极之间的电位及该电位下阳极的最大灯丝发射电流，来表示X射线阳极的最大功率。对特定的每一仪器操作模式和限定分析面积，都应给出上述数据，例如：a)大面积；b)单色器的限定面积：)高能量分辨或其他相关操作模式。5.4.3预期阳极寿命应说明在5.4.2中所述的仪器操作条件下X射线阳极的预期寿命，通常为保证寿命，但也可能是平均寿命，或者以5.4.2所述的仪器操作模式下性能随运行时间的变化图来表示。还应说明寿命类别。5.5谱仪强度性能和能量分辨率系统的能量分辨率应该用Ag3d52峰的FWHM来表示，该Ag峰是从离子戡射或刮削的洁净银箔获得的，因此污染峰的强度小于Ag3d5峰强度的5%。对于5,4,2中所列的所有仪器操作模式都应给出Ag3de峰的峰高强度和FWHM。峰高强度和FWHM都是在去除本底后测量出的，该本底为高于和低于谱峰峰位的各3V处两个能量点所作的切线。如有需要，可以给出对于任何其他条件下的能量分辨率和强度数据。最好说明充分预热后10min和1h的性能漂移。5.6谱仪能量标对于所有列出的激发源，应给出使用样品定位步骤对样品重新定位后C2P峰结合能的重复性标准偏差。仪器说明书中应表述此定位步骤。当用Cu2pr和Au4峰校准仪器时，应载明Ag3dr峰位处的结合能误差。在Cu2p2或Au4峰能量处，以时间为函数的结合能标校准精确度也应载明，注：X射线光电子能普仪的结合能标的校准方法见GB/T22571一2008.5.7谱仪强度线性应说明最大可用计数率和计数率线性限定（如士2%）范围内的最大计数率。5,8谱仪响应函数对于5,4.2中列出的相关仪器工作模式应提供谱仪响应函数或该函数与能量的关系。还应说明这些函数随时间保持恒定的程度。5.9成像和选区分辨率5.9.1概要用相同的方法处理成像系统和选区系统。空间分辨率的测量值应该用5,9.2、5,9,3或5.9.4中所表述的方法之一来获得。5.9.2方法1对于成像系统，要分析的样品应有一个小于仪器标称的空间分辨率的30%的独特区。该区的特征光电子信号扫描线的FWHM定义为空间分辨率。对选区系统，可以用显微样品台对带有这种独特区的样品穿过分析区进行扫描。特征信号从最大值的50%升到100%再降到50%的两点间距离定为空