温馨提示:
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件,查看预览时可能会显示错乱或异常,文件下载后无此问题,请放心下载。
2. 本文档由用户上传,版权归属用户,汇文网负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容,确认文档内容符合您的需求后进行下载,若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误,付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。
网站客服:3074922707
半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法
非接触涡流法
GBT
6616-2009
半导体
硅片
电阻率
薄膜
薄层
电阻
测试
方法
接触
涡流
6616
2009
ICS29.045H80中华人民共和国国家标准GB/T6616一2009代替GB/T6616一1995半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafersor sheet resistance of semiconductor filmswith a noncontact eddy-current gauge2009-10-30发布2010-06-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布