半导体制造用气体处理指南 GBT 34971-2017.pdf
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半导体制造用气体处理指南
GBT
34971-2017
半导体
制造
气体
处理
指南
34971
2017
GB/T34971-2017前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位：中吴光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院，本标准主要起草人：孙福楠、牛艳东、廖恒易、杜汉盛、王鸿、方华、陈鹰、周鹏云。I
