产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分：非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性 GBT 33523.604-2022.pdf
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产品几何技术规范GPS
表面结构
区域法
第604部分：非接触相干扫描干涉式仪器的标称特性
GBT
33523.604-2022
产品
几何
技术规范
GPS
表面
结构
区域
604
部分
接触
1CS17.040.20CCS J 04B中华人民共和国国家标准GB/T33523.604-2022/1S025178-604:2013产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性Geometrical product specifications(GPS)-Surface texture:Areal-Part 604:Nominal characteristics of non-contact(coherence scanninginterferometry)instruments(IS025178-604:2013,IDT)2022-12-30发布2023-04-01实施国家市场监督管理兽局发布国家标准化管理委员会
