产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第605部分：非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性 GBT 33523.605-2022.pdf

GB/T33523.605-2022/1S025178-605:2014前言本文件按照GB/T1.1一2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件是GB/T33523产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法的第605部分。GB/T33523已经发布了以下部分：一第1部分：表面结构的表示法；一第2部分：术语、定义及表面结构参数；一第3部分：规范操作集；一第6部分：表面结构测量方法的分类；一第70部分：实物测量标准；一第71部分：软件测量标准；一第72部分：XML文件格式x3p:一第601部分：接触（触针）式仪器的标称特性：一第602部分：非接（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性：一第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性：一第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性：一第605部分：非接触（点自动对焦探针）式仪器的标称特性；一第606部分：非接触（变焦）式仪器的标称特性：一第701部分：接触（触针）式仪器的校准与测量标准。本文件等同采用1S025178-605:2014产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法第605部分：非接触（点自动对焦探针）式仪器的标称特性。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国产品几何技术规范标准化技术委员会(SAC/TC240)提出并归口。本文件起草单位：哈尔滨工业大学、山东大学、清华大学、中国计量大学、厦门万明电子有限公司、中国航发动力股份有限公司、北京时代之峰科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、华中科技大学、深圳市中图仪器股份有限公司、中机研标准技术研究院（北京）有限公司、广东锦亚科技有限公司、陕西智恒电器科技有限公司、陕西润正检测科技有限公司。本文件主要起草人：刘辰光、同鹏、尉吴發、赵军、张丽、王双英、明翠新、刘俭、卢文龙、马俊杰、朱悦、曹世磊、张德军、平鸽、向伟明。