传感器通用术语 GBT 7665-2005.pdf

GB/T7665-20053.1.7结构型传感器mechanical structure type transducer/sensor利用机械构件（如金属膜片等）的变形检测被测量的传感器。3.1.8物性型传感器physical property type transducer/sensor利用材料的物理特性及其各种物理、化学效应检测被则量的传感器，3.1.9复合传感器composite transducer/sensor由多种不同类型的敏感元件或传感器组合而成、具有多种功能的传感器。3.1.10集成传感器integrated transducer/sensor将敏感元件连同信号处理电路集成在一起的传感器，3.1.11多功能传感器multi-function transducer/sensor能感受两种或两种以上被测量的传感器。3.1.12智能化传感器smart transducer/sensor对传感器自身状态具有一定的自诊断、自补偿、自适应以及双向通讯功能的传感器。3.1.13微传感器Micro transducer/sensor采用微加工技术制造的传感器。3.1.14微机电系统(MEMS)Microelectromechanical Systems由微传感器、微执行器和信号处理单元构成的系统。其特征尺度为0.1m100m。3.1.15微结构Micro structure用微加工技术制造的结构，是微传感器、微执行器的核心部分。微结构本身也可具有特定功能或作用。3.1.16硅微传感器silicon microsensor以硅为基本材料的微传感器。3.1.17真空场发射微传感器vacuum field emission microsensor利用在真空腔中的两电极间施加电压时，尖锥阵列阴极表面形成加速电场，导致阴极发射电流的原理制成的微传感器。3.1.18纳传感器Nano transducer/sensor特征尺寸为纳米量级、基于纳米材料或结构新效应（量子效应、界面效应和纳米尺度效应）的传感器。3.1.19触觉传感器tactile transducer/sensor通过直接接触，感知物体力、形状、滑动和温度的传感器。