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产品几何技术规范GPS
表面结构
区域法
第603部分:非接触相移干涉显微式仪器的标称特性
GBT
33523.603-2022
产品
几何
技术规范
GPS
表面
结构
区域
603
部分
接触
1CS17.040.20CCS J 04中华人民共和国国家标准GB/T33523.603-2022/1S025178-603:2013产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性Geometrical product specifications(GPS)-Surface texture:Areal-Part 603:Nominal characteristics of non-contact(phase-shifting interferometricmicroscopy)instruments(1S025178-603:2013,DT)2022-12-30发布2023-04-01实施国家市场监督管理兽局发布国家标准化管理委员会