Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法 GBT 30654-2014.pdf

GB/T30654-2014分析晶体可以根据实际情况进行选择。5测试环境除另有说明外，应在以下条件进行测试：a)环境温度：23士5，b)相对湿度：70%；c)大气压：86kPa106kPa:d)测试环境应无彩影响测试准确度的机械振动、电磁、光照和化学腐蚀等干扰。6样品川族氨化物外延片，表面应洁净。7测试程序7.1测试系统准备7.1.1探测器应与人射光成一直线。7.1.2w轴和20轴的分辨率应能够达到5 arcsec或更小。7.1.3在Bod方法中要求人射束限束器应是经四次反射或八次反射，即非色散限束，否则会影响测量精度。7.1.4扫描步长应不大于FWHM的1/7，典型的w-20轴的步长是5 aresec10 arcsec,可根据实际情况适当调整。7.15计数时间取决于观察到衍射峰的强度，在扫描中强度的动态范围应至少覆盖3个数量级，计数时间通常为0.1s25,7.2相对测量方法7.2.1探测器准直，即20校零。7.2.2将样品置于样品台上固定。如果样品是正(001晶向，一般使主定位边或缺口位于入射光方向顶时针90位置。7.2.3,轴校零，使得样品的表面与光束平行，并将样品半切光。72.4将样品定位于衬底的布拉格衍射峰，在布拉格角所在位置小范围改变，轴，直到获得很强的衍射，优化X轴和，轴，直到获得最强的衬底衍射。7.2.5选择适当范围，进行-20扫描，扫描范围要求包括衬底和外延层的衍射峰。如果外延层较薄或是质量很差，需要从更低的初始角度开始扫描，以便清楚地分辨外延层衍射峰。为了确定衍射峰位，要求扫措覆盖整个衍射峰。如果衬底峰与外延峰距离太近，要求在探测器前加入狭缝或分析品体，提高探测器分辨率。7.2.6计算外延峰与衬底峰的峰间距w。7.2.7利用式(1)，计算得到外延片的晶格常数41。7.2.8重复7.2.57.2.7步骤n-1次(n5)，得到a2,a3,a.,取平均值得品格常数a。