MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法 GBT 33922-2017.pdf
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MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
GBT
33922-2017
MEMS
压阻式
压力
敏感
芯片
性能
圆片级
试验
方法
33922
2017
GB/T33922-2017前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准主要起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学。本标准主要起草人：张威、程红兵、陈得民、李海斌、崔波、石云波、朱悦。
